【消費電子實驗室-2024/12/18】從中電科電子裝備集團獲悉，該集團下屬紅太陽光電公司自主研制的國內首臺疊舟PECVD設備，近日成功發貨。
疊舟PECVD設備。圖片來源：中電科電子裝備集團 作為光伏電池制備的一大重要工序，常規PECVD鍍膜設備的市場競爭日趨激烈，主流設備各方面性能大同小異，急需高產能、低成本、高穩定性、高工藝品質的新設備機型打破市場競爭格局。 紅太陽光電基于15年的光伏裝備領域經驗，以自研PECVD鍍膜設備為基礎，對設備產能、成本、能耗、穩定性、工藝可靠性等深研一步，跳出傳統的單管單層舟設計思路，推出新型大管徑高產能疊舟PECVD鍍膜設備。 據介紹，該設備打破市面常規設備反應室結構，創新采用雙舟疊放設計，單管載片量從768片提升至1368片，反應室的空間利用率從42%提升至50%，單機設備產能提升15%。 |
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