【消費電子實驗室-2023/7/19】近日，隨著貨車的平穩啟動，中國電科48所第100臺國產離子注入機發往用戶，標志著國產離子注入機成功通過產業化考驗。
離子注入機是芯片制造中至關重要的核心裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素，按預定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預定能量并注入至特定半導體材料中，離子注入機就是執行這一摻雜工藝的芯片制造裝備。 作為國內最早從事離子注入裝備研制及產業化的企業，48所持續深耕離子束技術，不斷強化關鍵核心技術攻關，已具備從產品設計到量產應用的完整研制體系，量產的百臺裝備均應用于國內各大集成電路先進產線，全面參與國產芯片制造的核心環節，有力提升我國芯片產業鏈供應鏈韌性和安全水平。 首個百臺交付，不僅是國產離子注入裝備制造的重要里程碑，更為我國集成電路產業自主創新發展注入了強大動能。未來，48所將繼續扎根集成電路領域，進一步補鏈強鏈，強化重點技術攻關，深耕細分領域，在高端裝備的設計開發及自主創新上持續發力，為集成電路產業發展貢獻更大力量。 |
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