【消費電子實驗室-2023/7/6】近日，有消息稱ASML計劃在年底出貨最新一代的光刻機，產能大幅提升，可以為今后的2nm工藝制程做準備。

目前ASML出貨的最新光刻機為NXE：3600D，而下半年將要出貨的是NXE：3800E光刻機，與目前的光刻機相比，NXE：3800E光刻機的曝光能力達到了30mJ/cm2，這個性能水平相當于每小時能夠制造195片晶圓，經過優化后產能可以達到220片晶圓，與目前的光刻機相比提升了30%，很顯然產能的提升也將減緩現在高端芯片產能供應不足的局面。

包括三星、英特爾以及臺積電都將選用ASML的最新一代的光刻機，如果下半年順利交付的話，加上調試、安裝等時間，預計三星可以在明年將這款光刻機用于2nm制程晶圓的生產之中。